真空泵與真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)制造商
技術(shù)參數(shù)單位nEXT400
入口法蘭"DN160 ISO-K or DN160CF
入口抽速l/s400
壓縮比(D or T)">1×1011
中間級(jí)抽速l/s13
排氣口/中間級(jí)接口/增壓口"NW25
放氣/吹掃口"1/8"BSPP
臨界前級(jí)壓力mbar9.5
最大連續(xù)入口流量(水冷)sccm105
最高允許入口法蘭烘烤溫度(僅CF、水冷)120
最大允許連續(xù)前級(jí)壓力(水冷)mbar7.5
前級(jí)泵推薦"RV12/nXDS10i
額定轉(zhuǎn)速rpm60000
到90%速度的啟動(dòng)時(shí)間D(T)s180(210)
噪音dB(A)<45±3
重量D(T)ISOKg6.5(6.8)
重量D(T)CF9.5(9.8)

nEXT400渦輪分子泵.png

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